MS系列高精度工具測(cè)量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測(cè)量?jī)x的 X、Y、Z 軸表面尺寸測(cè)量功能，具備明暗場(chǎng)、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測(cè)。

采用優(yōu)異的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)，搭配長(zhǎng)工作距金相物鏡，配合六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器 ，在滿足大視野觀測(cè)、大工作距測(cè)量需求的同時(shí)，還提供了高倍率和高精度的保障。無論是測(cè)量大型部件還是精細(xì)元件，或是表面高度差異大的樣品，MS系列都能為用戶提供最佳的解決方案。

1.功能高度集成的一體式設(shè)計(jì)：

MS 既預(yù)留了臺(tái)式主機(jī)的位置，又在使用者面前放置了可收起的鍵盤。兩個(gè)方向上的手輪以及各類按鈕，均符合人體工程學(xué)，使用者無需站立，便可輕松實(shí)行操作。

2.仰角可調(diào)觀察筒：

這款觀察筒傾斜角在 5°至 35°之間可調(diào)。無論是站立或坐著，都能最大限度滿足用戶的操作需求，同時(shí)也無需擔(dān)憂用戶的身高差異。

3.大行程載物臺(tái)：

有多種行程的載物臺(tái)可供選擇 , 分別為 200mm×100mm、300mm×200mm、300 mm×300mm、400 mm×300mm。無論樣品大小，均能滿足用戶的測(cè)量需求。若用戶有特殊需求，也可按需求定制平臺(tái)。

4.精密測(cè)量功能：

采用0.1um讀數(shù)的3軸測(cè)量系統(tǒng)，Z 軸最大行程可至150mm，利用集成在機(jī)架上的高精度電動(dòng)控制器控制 Z 軸。三檔不同調(diào)速可供選擇，調(diào)焦可操作性強(qiáng)，提高效率，降低疲勞。

5.獨(dú)立裂像光源輔助對(duì)焦：

獨(dú)立的裂像光源控制器，可根據(jù)樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調(diào)節(jié)，清晰準(zhǔn)確顯示最佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇，并隨意切換。

6.自主研發(fā)測(cè)量軟件：

MS 配備了操作簡(jiǎn)單，功能強(qiáng)大的測(cè)量軟件，客戶可根據(jù)需要設(shè)置測(cè)試偏好。配合電動(dòng)轉(zhuǎn)換器，倍率自動(dòng)識(shí)別，減少客戶手動(dòng)倍率選擇錯(cuò)誤。即使對(duì)復(fù)雜的形狀，也可以進(jìn)行高精度的測(cè)量。

7.MS系列高精度工具測(cè)量顯微鏡應(yīng)用實(shí)例：